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高精度小型三轴气浮台研制成功
日前，为进一步斥地细密机械加工新范畴创制了优良前提。
光机所新手艺室科研人员取加工单元奥普公司工艺人员充实阐扬了该所正在细密机械加工方面的劣势，研究出利用圆度仪及三坐标丈量机切确丈量半球球度的新方式，丈量精度达到了亚微米级。
